삼성전자, ‘헬륨 재사용 시스템’ 개발 [말하는 기자들_산업_1209]

Описание: 삼성전자가 반도체 공정의 핵심 원재료인 헬륨을 재사용하는 기술을 업계 최초로 개발했습니다.

기존 헬륨을 전량 수입에 의존한 만큼 재사용 기술을 통해 공급 안정성을 높이고, 지속가능경영까지 뒷받침할 수 있는 기반을 마련했다는 평가입니다.

삼성전자는 지난 4월부터 일부 생산라인에 ‘헬륨 재사용 시스템’(HeRS)을 적용하고 있습니다.

공정에서 발생한 고순도 헬륨을 회수해 다시 사용하는 체계로, 연간 약 4.7톤의 헬륨 사용을 줄일 수 있을 것으로 전망됩니다.

회사는 장기적으로 재사용 헬륨 비중을 18%대까지 높이고, 저순도 헬륨을 고순도로 끌어올리는 기술 개발도 해외 파트너와 함께 추진할 계획입니다.

반도체 공정에서 헬륨은 열 제어와 진공 환경 유지 역할을 하는 ‘대체 불가능한 자원’으로 꼽힙니다.

반도체는 물론 항공우주와 의료영상 등 수요가 꾸준히 증가하고 있어 공급망 확보의 중요성이 커지고 있습니다.

삼성전자는 헬륨뿐 아니라 포토 공정에 쓰이는 네온가스 재활용 체계도 도입하는 등 자원순환 노력을 확대하는 중입니다.

업계는 희귀가스 재사용 기술이 공급망 리스크를 일부 해소하고 탄소 감축에도 기여할 수 있다고 평가했습니다.

뉴스토마토 이명신입니다.

#삼성전자헬륨재사용 #희귀가스공급망안정 #자원순환기술


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