Установка измерения поверхностного сопротивления пленок ВИК УЭС

Описание: Мы представляем установку для измерения удельного электросопротивления (УЭС) четырехзондовым методом. Первое, что надо отметить, 4-х зондовый метод входит в систему международных стандартов полупроводниковой отрасли и представлен там 5-ю стандартами. УЭС – главный марочный параметр полупроводника и установки необходимы на всех этапах технологического процесса получения микроэлектронных приборов – от выпуска слитков полупроводникового материала до создания структур на нем. Этим методом можно измерить УЭС как слитков, так и основного элемента производства приборов – пластин. Метод относится к числу неразрушающих, не требует специальной подготовки образцов, высокопроизводителен и точен. Мы представляем ВИК-УЭC – вычислительно измерительный комплекс измерения УЭС, в котором учтены все рекомендации международных стандартов. В основе измерительной части установки лежит оригинальная разработка измерительной схемы, позволяющая измерять сопротивление при изменении на 8 порядков. Базовый вариант – от 10-3 до 105 Ом. Пределы измерений могут быть изменены по согласованию с заказчиком.

Установка изготавливается в двух исполнениях – с ручным манипулятором,В котором перемещение зонда по пластине опускание головки для измерения осуществляется вручную, и с автоматическим манипулятором, в котором автоматически перемещается головка по одной из 5-ти выбранных схем. На базе разработанной электронной схемы создана также установка для однозондовых измерений – т.н. сопротивление растекания.

Наш сайт www.mivatek.ru
Наша почта [email protected]