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WEISUN Industrial Co., Ltd.►全自動 高温クリーン酸素フリーオーブンは
Автор: 偉勝乾燥工業 WEISUN INDUSTRIAL
Загружено: 2026-01-13
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WEISUNの全自動 高温クリーン酸素フリーオーブンは、厳格な半導体業界基準を満たしているだけでなく、国際規格に基づいたクリーンルーム環境下においても安定した稼働を実現します。
本装置は EFEM（Equipment Front End Module）を搭載し、標準のウエハロードポートを実装。FOUPおよびロボットアームと連携することで、ウエハの高速自動搬送を可能とし、完全無人化工場の実現に貢献します。
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