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台積電副總 林本堅 說科學家相信有神嗎？
Автор: David Lin
Загружено: 2015-11-30
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林本堅今年72歲，獲獎無數，曾獲10次美國IBM傑出發明獎、美國IBM傑出貢獻獎、2008年當選美國國家工程學院院士，去年也獲選為工研院院士，更因浸潤式微影技術的創新，獲頒2013年國際電機電子工程師學會（IEEE）西澤潤一金牌獎。
翁啟惠表示，林本堅是光學微影技術的先驅者，將半導體製程再往前推進，幫助台積電在世界居於領先地位。他認為，誕生首位業界的中研院院士，顯示業界研發能量領先全球，對台灣產業創新有相當大的幫助。
林本堅出生於越南，在離西貢不遠的堤岸市長大，祖父是船商、父親是當地英文中學校長，他在越南接受華僑教育，高三那年獨自來台就讀新竹中學，隔年考上台灣大學電機系，從此與電磁波學結緣，後來更赴美求學，在美國俄亥俄州立大學電機工程完成博士學位。
林本堅在奈米影像技術上，有兩次重大的突破，一次在2002年以浸潤式微影技術衝破65奈米的撞牆期，另一次是讓微影技術從28奈米的極限位置，成功闖入20奈米，現在台積電能攻入10奈米製程，也是靠著林本堅帶領團隊突破半導體微影技術限制，挑戰第三次「big through」。林本堅表示，未來將加速產學合作。(中國時報)
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