Заголовок: Китай готов стать единственной страной, способной самостоятельно освоить литографию в ...

Описание: Заголовок: Китай готов стать единственной страной, способной самостоятельно освоить EUV-литографию; массовое производство EUV-технологий в Китае перепишет ландшафт микросхем

К 2028 году мировая индустрия микросхем может столкнуться с финалом, который повергнет в шок европейских и американских гигантов — Китай должен стать единственной страной в мире, способной самостоятельно освоить машины для экстремальной ультрафиолетовой (EUV) литографии, разрушив многолетний миф о монополии голландской компании ASML. Нужно помнить, что всего три года назад генеральный директор американского гиганта по производству фоторезистов хвастался: «Даже если бы мы дали Китаю полный комплект чертежей, они не смогли бы построить EUV-машину». Вызывает ли у вас это нелогичное предположение мгновенное недоумение? Как это возможно? Как страна, которая годами находилась под технологической блокадой, может захватить эту «жемчужину полупроводниковой промышленности»?

На самом деле, EUV-литография не так мистична, как кажется; Давайте объясним это простыми словами. Представьте себе сверхточный «принтер на нанометровом уровне». Традиционные литографические машины используют «чернила», изготовленные из глубокого ультрафиолетового (ДУФ) излучения с длиной волны 193 нанометра, печатая схемы, которые относительно грубы и не соответствуют требованиям высокопроизводительных чипов. EUV-литография, однако, использует экстремальное ультрафиолетовое излучение с длиной волны 13,5 нанометра, эффективно уменьшая «наконечник пера» более чем в десять раз, что позволяет вытравливать гораздо более тонкие схемы на кремниевых пластинах. Это единственный инструмент для производства высокопроизводительных чипов с длиной волны 7 нанометров и ниже. Ранее этот «суперпринтер» был монополизирован компанией ASML, а основные компоненты импортировались из таких стран, как США, Германия и Япония. Китай поставил перед собой задачу самостоятельно изготовить каждую деталь этого «принтера». Это как построить авианосец из кубиков Lego — сложность невообразима, — но мы действительно совершили критически важный прорыв.

Ещё более поразительным является то, что китайские исследования и разработки в области EUV-литографии не только разрушили монополию, но и проложили иной технологический путь. Установка EUV компании ASML весит 180 тонн и содержит более 100 000 прецизионных деталей, опираясь на глобальную координацию цепочки поставок. В отличие от этого, прототип, разработанный в Китае, оптимизировал оптическую конструкцию и технологию источника света, упростив структурную сложность при сохранении точности. Это означает, что наши затраты на массовое производство могут быть более чем на 30% ниже, чем у ASML. Что ещё более важно, мы создали полностью внутреннюю цепочку поставок — от фоторезистов до зеркал, всё «сделано в Китае». Этого не может сделать даже ASML; её основной источник света поставляется американской компанией Cymer, а высокоточные линзы зависят от немецких производителей, что делает невозможным для них полностью независимое производство.

Далее давайте разберёмся в уверенности, стоящей за массовым производством EUV-литографии в Китае, посмотрим, как это полностью изменит глобальный рынок микросхем, где доминируют Европа и США, и раскроем новые возможности, которые эта технологическая революция открывает для глобального развития технологий.


Для начала давайте рассмотрим некоторые душераздирающие данные: в 2022 году мировой рынок EUV-литографии был на 100% монополизирован компанией ASML, а её доля на рынке DUV-литографии среднего и высокого класса достигала 96,99%. Европейские и американские страны, контролируя технологии литографии, прочно удерживали бразды правления мировой индустрией микросхем. США, используя своё технологическое преимущество, вынудили Нидерланды ограничить экспорт EUV-машин ASML в Китай, пытаясь «задушить» китайскую индустрию микросхем. Наиболее типичный пример — компания SMIC, которая заказала EUV-машину за 120 миллионов долларов в 2018 году, но по состоянию на 2025 год она так и не была успешно поставлена. Это привело к долгосрочной зависимости Китая от импорта высококачественных микросхем, при этом ежегодные объемы импорта превышают 300 миллиардов долларов — больше, чем импорт нефти. Однако после того, как стало известно о значительном прогрессе в исследованиях и разработках в области EUV-литографии в Китае, акции ASML за три дня упали на 15%, в результате чего рыночная капитализация компании снизилась на 130 миллиардов долларов. Западные гиганты в сфере производства микросхем впали в коллективную панику, отражающую их опасения по поводу краха монопольного положения.