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光刻机最核心部件！揭秘EUV光源系统，为何这么难造？
Автор: 大刘科普
Загружено: 2023-09-21
Просмотров: 39319
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上期视频讲过了清华大学的SSMB-EUV，意犹未尽。这次直接把EUV光源彻底讲清楚。作为光刻机的核心部件，为什么EUV这么难？
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